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液晶面板(LCD) / 触控面板(TP) / 有机发光二极管(OLED)

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液晶显示器 (Liquid Crystal Display)

液晶显示器 (TFT-LCD) 已取代阴极管 (CRT) 成为示器的主流.其制作过程分为三段, 第一段为 Array 制程, 主要是在玻璃基板上制作薄膜电晶体 (TFT, Thin Film Transitor). 第二段为 Cell 制程, 主要是將 Array 与彩色滤光片 (Color Filter) 结合, 並在二片玻璃基板之间灌入液晶. 第三段为Module 模组制程, 主要是將 Cell 制程的半成品与背光板, 偏光板, IC 电路, 外框等多种组件裝起來. 
其中的 Array 制程 & 彩色滤光片基本上是以薄膜制程完成, 使用的材料包括 ITO (画素电极), Cr (Gate 电极), Mo/Al (Source/Drain电极), Nb, Si, SiO2. 靶材的基本要求是大型化及高密度, 对 ITO 这类陶瓷靶, 有能力以Bonding 組合成大型靶是靶材商的基本要求.

 


触控面板 (Touch Panel)

触控面板 (Touch Panel) 是新世代的人机介面, 主要为电阻式, 其次为电容式. 结构主要是 ITO 玻璃(基材)及 ITO PET Film (表面), 加上其间的阻隔材和导电胶組合而成.
薄膜制程使用的材料基本是 ITO, Mo, Al, SiO2. 除了高阻值 ITO 玻璃外, ITO PET Film 亦为重要元件. 非靶材的主要原料为导电 Ag 胶及隔绝胶.


 Si ITO

有机发光二极体 (Organic Light Emitted Diode)

有机发光二极体 (OLED) 以有机化合物形成电子与电洞的来源, 在电场激发下就可发光. 有机化合物分为小分子 (OLED) 与大分子 (PLED) 二类, 小分子通用于小尺寸面板, 大分子通用于大尺寸面板. 小分子用真空蒸镀成膜, 大分子不需真空设备, 以印刷法图层. 目前以小分子技术较成熟.

OLED 于 LCD 相比, 有自发光(不含背光源), 结构简单(不需彩色滤光片),适用恶劣环境(震动, 加速, 碰撞..), 重量轻, 厚度薄(1~2mm), 低电压(3~9V), 广视角(>160度), 画质佳(高亮度, 高辉度, 高对比), 反应快(10us), 可用温度宽广(-30~80C)等众多优点, 更重要的是可用塑胶片制成可绕性的显示器, 被视为未来显示器.

OLED 问题在于技术尚未成熟, 主要缺点为有机化合物的寿命太短及色彩不均.
OLED 使用的蒸镀材料为 ITO Tablet (阳极) & Al Wire (阴极), ITO 可用其他透明导电材取代 (高功函数), 如 IZO, ATO, AZO. Al 也可用其他金属取代(低功函数), 如 MgAg, Au, LiF, CaO, In, ITO, IZO. 为了降低 ITO 电阻造成的電电压低, 會加入辅助电极, 一般为 Cr/Al/Cr 或 Mo/Al/Mo 多层膜.

Al Wire MgO AZO


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